Programma van VCCN Product Cleanliness Congres

Philip van Beek, Contamination Q&A
Philip heeft jarenlange ervaring als consultant voor contamination control vraagstukken. Een expert die met concrete oplossingen komt. Daarnaast verzorgt hij basistrainingen bij de VCCN over cleanrooms en is bestuurslid van VCCN.

Wetenschappelijke en technologische ontwikkelingen zijn de aanjager voor de continue miniaturisering die heeft geresulteerd in producten met afmetingen op micro-, nano- en pico-schalen. Tegelijkertijd leidt deze miniaturisatie tot nieuwe, extreem strenge cleanroom-eisen inclusief deeltjes, chemische verontreinigingen, trillingen en elektromagnetische interferentie.
In deze presentatie wordt de technische en financiële impact van deze continue miniaturisatie besproken. Aan de hand van case studies worden oplossingen geïntroduceerd hoe de technische complexiteit in balans kan worden gebracht met de financiële uitdagingen.

Eric Sstuiver, Deerns
Eric is sector directeur bij Deerns en heeft meer dan 35 jaar internationale ervaring in het ontwerp van hoogwaardige onderzoeks- en productiefaciliteiten voor micro/nano-elektronica toepassingen. Eric is expert in het uitzetten van de contamination control en cleanroom technologieën vanuit de, veranderende technologie- en productie-eisen.

In de halfgeleiderindustrie groeit het aantal schakelingen per oppervlak nog steeds. Om deze groei commercieel aantrekkelijk te laten blijven, is het noodzakelijk om contaminatie die tot opbrengstverlies kan leiden, te verwijderen van onderdelen die gebruikt worden in de machines die chips maken. Deze presentatie zal voorbeelden geven welke contaminatie relevant is, hoe die gemeten wordt en verwijderd kan worden. De presentatie zal afgesloten worden met voorbeelden hoe dit in de leverketen gewaarborgd kan worden.

Johan Hoogboom, Competence Lead Cleanliness of Parts bij ASML
Johan Hoogbook is fysisch-organisch chemicus met 15 jaar ervaring in de halfgeleiderindustrie. in het verleden heeft hij gewerkt bij chemiebedrijven, in productontwikkeling voor reinigen en etsen van structuren op wafers. Sinds 2019 is Johan bij ASML verantwoordelijk voor het identificeren en testen van reinigingsmethoden die in de leverketen, fabriek en apparaten in het veld gebruikt kunnen worden.

Een schoon eindproduct vereist een systematische aanpak die helemaal aan het begin begint met de vraag: wat is de benodigde reinheid van het product tijdens het gebruik? In deze presentatie zal Freek Molkenboer het publiek meenemen in hoe je deze aanpak kunt toepassen op ultra-clean vacuümproducten. Hij zal stilstaan bij hoe je eisen aan een product bepaalt, waar je op moet letten tijdens de productie en hoe je meet of het product al dan niet schoon is.

Freek Molkenboer, Senior systems engineer bij TNO
Freek is Senior Systems Engineer voor TNO in de divisie Semicon en Quantum. Daarnaast bekleedt hij verschillende nevenfuncties die verband houden met vacuüm. Begin 2025 organiseert hij vanuit TNO en de Nederlandse Vacuüm Vereniging (NEVAC) een IUVSTA-workshop over ultra-clean vacuüm, waarbij de systematische aanpak een essentieel element vormt.

Binnen de ASML supply chain wordt Rest Gas Analyse (RGA) gebruikt om de reinheid van kritische onderdelen vast te stellen. Voor het interpreteren van RGA data heeft ASML een training ontwikkeld bedoeld om de uitgevoerde metingen te interpreteren en te beoordelen. John Stegeman vertelt je hier tijdens zijn presentatie meer over.

John Stegeman, Expert Cleanliness, Vacuum and RGA bij ASML
John Stegeman is afgestudeerd aan de HTS Chemische Technologie en sindsdien werkzaam in de halfgeleider research en industrie. Zijn rode draad is altijd vacuüm en restgas analyse geweest. Binnen ASML is John werkzaam als Competence Engineer voor alle RGA gerelateerde projecten.

Bij het produceren van printplaten loop je tegen verschillende aspecten aan welke een mogelijke invloed hebben op de kwaliteit van de printplaat. Een van die aspecten zijn kleine deeltjes die ervoor kunnen zorgen dat een printplaat niet meer te gebruiken is. Herstellen van fouten is in de meeste gevallen niet mogelijk. Daarnaast hebben we een aaneenschakeling van stappen waar een printplaat zowel in als buiten de cleanroom moet worden bewerkt. Schoonmaken is daar niet altijd de gewenste oplossing.

Jos Alberink, Quality Assurance Manager bij Thales Nederland BV
Jos Alberink is 46 jaar werkzaam bij Thales Nederland in verschillende functies. Waarvan op dit moment 15 jaar binnen de printplaat productie als Quality Assurance Manager. De nieuwe producten worden steeds moeilijk te produceren door een steeds drukker wordend patroon, vormgeving, maatvoering  en smallere sporen. Beheersing van stof wordt daardoor steeds belangrijker. Een groot deel van zijn werkzaamheden houden hier verband mee.

In mijn verhaal ga ik in op de mogelijkheden die er zijn om de reinheid van een bepaald product door middel van een onafhankelijke meting vast te stellen. Soms is dat mogelijk om ter plaatste te doen door lokale engineers maar vaak, ook gezien de veelal strenge eisen, is er de hulp van een gespecialiseerd laboratorium nodig om met dedicated ontwikkelde procedures en specialistische apparatuur de reinheid vast te stellen. Ik zal een globaal overzicht geven van de beschikbare technieken, waarvoor deze gebruikt kunnen worden en waar mogelijk met praktijk voorbeelden verduidelijken.

Paul Krusemann, Eurofins
Eurofins Materials Science NL bestaat sinds vijf jaar maar heeft een lange Philips historie. Oorspronkelijk het Materiaal Analyse lab van Philips Research en via Philips Lighting terechtgekomen in de Eurofins groep. Het lab staat opgesteld voor ieder die chemisch of fysisch analytische ondersteuning nodig heeft bij R&D onderzoek of trouble shooting in welke omgeving dan ook. Het lab heeft een breed scala aan meettechnieken tot zijn beschikking, uitgevoerd door bijna 60 hoogopgeleide medewerkers die niet alleen de metingen verrichten maar ook meedenken in de oplossing van het uiteindelijke probleem. Zelf ben ik bijna 40 jaar werkzaam op dit lab en ben gespecialiseerd in gas analyse in het algemeen en contamination control in het bijzonder. Het aandachtsgebied ligt momenteel voornamelijk op de semi-conductor industrie maar ook in andere takken wordt met enige regelmaat onze expertise toegepast op contamination control vraagstukken.

Hoe kun je de risico’s tijdens cleanroom assemblage vooraf berekenen of inschatten, hoe beheers je deze tijdens assemblage en hoe meet je deze?
Theorie aangevuld met praktijkervaring vanuit NTS.

Olof Teulings, Sr. Process Engineer & Cleanroom Expert
bij NTS Mechatronics
Is al meer dan 10 jaar werkzaam in het vakgebied van Contamination
Control bij twee verschillende 1-tier suppliers (VDL ETG en nu NTS).
Lid van Cleanliness Competence Team van NTS.
Onder meer opgeleid bij VCCN en co-auteur van Richtlijn 12.

Bij de keuze voor componenten voor een machine in een cleanroom toepassing, wordt vaak gekeken naar geschiktheid voor een bepaalde ISO klasse. In catalogi staat dit soms vermeld, maar je weet dan vaak niet met welke frequentie, belasting en oriëntatie is getest. Ook is niet altijd duidelijk of de ISO 14644-14 is gebruikt met een meting op de hoogste concentratie of dat er wordt gekeken naar een gemiddelde concentratie. Hoe kun je dat dan vertalen naar de eigen applicatie?
Deze presentatie gaat over de verschillende facetten die bijdragen aan de reinheid van een machine en hoe dat het beste gemeten kan worden.

Max van de Berg, Festo
Max van den Berg werkt bij Festo als system architect voor klanten in de halfgeleiderindustrie. Door samenwerking met architecten en engineers van klanten over de hele wereld ontstaan er oplossingen die gebruik maken van kennis van alle partijen samen. Zijn achtergrond is Mechatronica en industriële productontwikkeling. Hij is actief als mede voorzitter in één van de normcommissies van SEMI.